芯片测试设备主要包括以下几种类型:

1. ATE（自动测试设备）：

   • 主控计算机：控制整个测试过程，运行测试程序并收集测试数据。
   • 测试主机：包含各种测量和控制模块，用于生成测试信号和测量芯片响应，包括高精度的电源供应器、信号发生器、示波器、逻辑分析仪等。
   • 探针台：用于晶圆级测试，将探针与晶圆上的各个芯片接触，精密机械系统，能够准确地将微小探针对准芯片上的测试点。
   • 测试头：将测试信号传输到被测芯片，通常包含多个通道，可以同时测试多个芯片。
   • 测试夹具和插座：固定芯片或晶圆，并将它们连接到测试系统上。
   • 软件：测试开发环境，用于编写和调试测试程序；数据分析工具，用于处理和分析测试结果。

2. 分选机：

   • 用于将被测芯片按照一定的标准或要求进行分类和分选。通常具备高速图像处理和识别技术，能够对芯片进行光学检测和分辨，判断其品质和合格性。

3. 探针台：

   • 提供固定和支撑测试探针的平台，确保探针能够稳定地接触到芯片上的测试点。主要功能是提供稳定的机械结构、可靠的探针固定和微调、良好的导电性和绝缘性等特性。

4. 环境测试设备：

   • 恒温恒湿箱：模拟各种环境条件下芯片的性能表现，特别是在高温、高湿等极端环境下的稳定性和可靠性。
   • 电热恒温鼓风干燥箱：对芯片进行温度稳定的干燥、老化测试。
   • 电动振动试验系统：模拟芯片在工作过程中可能遭遇的振动环境。
   • 高温老化房：对芯片进行加速老化测试。

5. 其他电子测量仪器：

   • 示波器：用于测试芯片的模拟电路和数字电路，显示电路中随时间变化的电压波形。
   • 逻辑分析仪：用于捕捉芯片输出的数字信号，并将其转换成可视化的波形，以便分析和调试数字电路。
   • 电源测试仪：用于测试芯片的电源供应，包括直流电源和交流电源两种类型。
   • 信号发生器：用于发出模拟信号，以便检测芯片的模拟电路性能。
   • 红外线相机：检测芯片中的热点问题。
   • 声学显微镜：检测芯片中的缺陷。

这些设备在芯片测试中起着重要作用，可以根据不同的测试需求和条件选择合适的仪器进行测试。