半导体芯片生产车间存在化学危害、物理危害和生物危害三大主要风险,其中高毒性气体暴露、高频噪音损伤和致病微生物感染是需要重点防范的隐患。
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化学危害
生产过程中使用的光刻胶、蚀刻液等化学品会释放氢氟酸、砷化氢等剧毒气体,长期接触可能导致呼吸系统损伤或血液病变。晶圆清洗环节涉及的有机溶剂易通过皮肤渗透,引发神经系统功能障碍。 -
物理危害
切割设备产生120分贝以上的高频噪音,超过人体安全阈值15倍,可能造成永久性听力丧失。纳米级金属粉尘在静电作用下悬浮,吸入后会沉积在肺泡引发尘肺病。 -
生物危害
恒温恒湿环境易滋生军团菌等嗜肺性病原体,通风系统污染可能导致群体性肺炎。接触被微生物污染的超纯水可能引发角膜溃疡等职业性眼病。
半导体车间需严格执行三级防护体系:工程控制(局部排风)、行政管理(轮岗制度)及个人防护(正压呼吸器),任何环节疏漏都可能造成不可逆健康损害。