全球主要芯片光刻机生产厂家集中在荷兰、日本和中国,其中荷兰ASML垄断高端EUV光刻机市场,日本尼康和佳能主导中低端DUV设备,中国上海微电子(SMEE)正加速突破28nm制程技术。以下是核心厂家的详细分析:
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荷兰ASML
- 全球唯一能生产EUV(极紫外)光刻机的企业,技术领先3代以上,客户包括台积电、三星和英特尔。
- 2024年出货约50台EUV设备,单价超1.5亿美元,7nm以下芯片制造依赖其技术。
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日本尼康(Nikon)
- 专注ArF和KrF激光光刻机,覆盖7nm至成熟制程,性价比高于ASML同类型产品。
- 2023年市占率约15%,主要供应中国、东南亚晶圆厂。
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日本佳能(Canon)
- 主攻低端i-line和KrF设备,适用于汽车芯片、传感器等成熟工艺。
- 2024年推出纳米压印技术,试图绕开光刻限制。
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中国上海微电子(SMEE)
- 已量产90nm光刻机,28nmSSA800型预计2025年交付,采用自主物镜系统和双工件台技术。
- 受国际供应链限制,但通过国产化率提升加速替代进程。
行业趋势显示,未来3年EUV需求将增长120%,而地缘政治可能推动区域化供应链形成。建议关注ASML的High-NA EUV升级与中国企业的技术突破进展。