‌DLC涂层工艺流程主要包括基材预处理、涂层沉积和后处理三大步骤，其核心亮点在于‌高硬度、低摩擦系数和优异耐磨性‌，广泛应用于精密模具、刀具和汽车零部件等领域。‌

1. ‌基材预处理‌

   • ‌清洗除油‌：采用超声波或溶剂清洗去除表面油污和杂质，确保基材洁净。
   • ‌喷砂粗化‌：通过喷砂处理增加表面粗糙度，提升涂层附着力。
   • ‌离子清洗‌：在真空环境下用氩离子轰击基材，进一步活化表面。

2. ‌涂层沉积‌

   • ‌真空镀膜‌：将工件放入真空腔室，通入碳氢气体（如甲烷）和氩气，通过PECVD（等离子体增强化学气相沉积）或磁控溅射生成DLC薄膜。
   • ‌参数控制‌：调节气压、温度、电压等参数，优化涂层的厚度（通常0.5~5微米）和性能。

3. ‌后处理‌

   • ‌退火处理‌：低温退火可减少内应力，提高涂层稳定性。
   • ‌性能检测‌：通过划痕试验、摩擦系数测试等验证涂层的结合强度和耐磨性。

DLC涂层工艺需严格把控各环节参数，以确保涂层均匀性和使用寿命。企业可根据实际需求选择不同沉积技术，平衡成本与性能。