‌MEMS传感器作为现代智能设备的核心元件，凭借微型化、高集成和低成本优势，在汽车、消费电子等领域形成十大主流品类‌，包括加速度计、陀螺仪、压力传感器等，其技术突破正推动物联网和自动驾驶的快速发展。

1. ‌加速度传感器‌
   通过惯性质量块位移检测加速度，广泛应用于汽车电子稳定系统(ESC)和智能手机姿态识别，具备±1.5~2.0g测量范围与高温度稳定性。

2. ‌陀螺仪传感器‌
   基于科里奥利力原理测量角速度，与加速度计组成惯性导航模块，是无人机和VR设备姿态控制的关键。

3. ‌压力传感器‌
   分为硅电容式与压阻式两类，用于胎压监测和工业过程控制，精度可达0.01%FS。

4. ‌MEMS麦克风‌
   通过声波振动膜电容变化实现声电转换，智能音箱和耳机中普遍采用，信噪比超70dB。

5. ‌磁传感器‌
   集成霍尔效应元件，用于电子罗盘和电流检测，抗干扰性强且功耗低于传统磁阻器件。

6. ‌湿度传感器‌
   利用多孔硅薄膜吸附水分子改变介电常数，农业温室和医疗设备中实现精准环境监测。

7. ‌气体传感器‌
   检测特定气体浓度变化，如车载酒精传感器和空气质量监测，响应时间快至1秒。

8. ‌微流控系统‌
   结合生物芯片实现微量液体操控，应用于基因测仪和便携式生化分析设备。

9. ‌射频MEMS‌
   通过可调电容/开关优化5G通信滤波器性能，提升信号切换速度与能效比。

10. ‌数字微镜器件(DMD)‌
    德州仪器专利技术，以微镜阵列实现高精度光调制，是投影仪和激光雷达的核心组件。

随着工艺进步，MEMS传感器正朝着多传感器融合与AI边缘计算方向演进，未来十年将在智慧城市和穿戴设备中释放更大潜力。