中国目前具备5纳米芯片的研发能力,但大规模量产仍面临挑战。关键技术突破包括光刻机自主研发和先进制程工艺积累,但受限于设备供应链和国际技术壁垒,完整产业链尚未成熟。
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研发进展
中芯国际等企业已实现7纳米芯片试产,5纳米技术处于实验室阶段。通过多重曝光技术和FinFET晶体管结构优化,部分绕过了极紫外(EUV)光刻机限制,但良率和效率待提升。 -
核心设备瓶颈
荷兰ASML的EUV光刻机是5纳米量产的关键,但受《瓦森纳协定》限制进口。国内上海微电子正在攻关28纳米光刻机,短期内难以支撑5纳米需求。 -
材料与设计能力
华为海思等公司具备5纳米芯片设计水平,但制造依赖台积电等代工厂。硅片、光刻胶等材料国产化率不足30%,影响自主可控性。 -
政策与生态支持
国家大基金二期重点投资半导体设备与材料,北京、上海等地建设晶圆厂。通过chiplet(小芯片)技术整合成熟制程,部分替代先进制程需求。
未来3-5年,中国或通过异构集成和新材料研发实现弯道超车,但完全自主的5纳米量产需突破设备、工艺、人才的全链条协同。现阶段更现实的方向是提升28纳米及以下成熟制程的全球占比。