​​光刻机上市公司龙头一览表：国内核心企业聚焦整机制造、光学系统、关键材料三大领域，其中上海微电子（未上市）、张江高科（600895）、茂莱光学（688502）、华特气体（688268）等企业凭借技术唯一性和国产替代潜力成为行业标杆。​​

1. ​​整机制造龙头​​：张江高科通过持股上海微电子10.78%股权，成为国产光刻机整机唯一资本平台，深度参与28nm浸没式光刻机研发，其生态链覆盖中微公司、华卓精科等核心零部件企业。

2. ​​光学系统核心​​：茂莱光学为上海微电子90nm光刻机提供70%的投影物镜，28nm浸没式物镜将于2025年交付；奥普光电（002338）的EUV曝光系统技术源自中科院长春光机所，高精度光栅编码器打破海外垄断。

3. ​​关键材料突破​​：华特气体是国内唯一通过ASML认证的光刻气供应商，氖/氪/氙/氟气市占率超90%；炬光科技（688167）的DUV光场匀化器占全球25%份额，193nm ArF光源技术国际领先。

4. ​​产业链配套企业​​：蓝英装备（300293）为ASML提供光学清洗设备，晶方科技（603005）旗下荷兰公司供应光刻机部件；南大光电（300346）的ArF光刻胶通过客户认证，加速材料国产化。

​​提示​​：光刻机国产化率目标从15%提升至50%，技术壁垒高、产业链协同强的龙头企业更具长期投资价值，需关注技术迭代与国际竞争风险。