光刻机被誉为半导体制造业"皇冠上的明珠"，相关概念股备受市场关注。‌国产光刻机产业链已形成完整布局，核心企业包括张江高科、北方华创、茂莱光学等龙头‌，这些公司在技术突破和国产替代进程中表现突出。

主要光刻机概念股可分为三大类：

1. 整机及核心部件厂商

• 张江高科：参股上海微电子10.78%，后者是国内光刻机整机龙头企业
• 北方华创：全球唯二掌握双工件台技术，占光刻机成本30%
• 茂莱光学：为上海微电子提供物镜系统，精度比肩国际巨头

2. 关键材料供应商

• 南大光电：自主研发ArF光刻胶通过客户认证
• 福晶科技：全球最大LBO晶体生产商，产品应用于光刻机
• 彤程新材：通过子公司布局光刻胶研发生产

3. 配套服务企业

• 波长光电：提供光刻机平行光源系统
• 苏大维格：供应定位光栅产品
• 炬光科技：研发光场匀化器等核心元器件

随着半导体国产化进程加速，光刻机产业链迎来黄金发展期。投资者可重点关注技术壁垒高、国产替代空间大的核心环节企业，同时需注意行业技术迭代风险和市场波动因素。