​​光刻机概念股的龙头股主要包括张江高科、茂莱光学、上海电气等企业，这些公司在光刻机整机制造、核心部件国产替代及产业链布局上具备显著技术优势和市场地位。​​

• ​​张江高科​​：通过子公司持有上海微电子10.78%股份，后者是国内唯一能量产90nm光刻机整机的企业，28nm光刻机已进入验证阶段，预计2025年量产。其深度绑定中芯国际等晶圆厂，形成全产业链生态。
• ​​茂莱光学​​：国产DUV光学透镜核心供应商，产品应用于上海微电子光刻机，技术突破国际垄断，成本优势显著。
• ​​上海电气​​：作为上海微电子第一大股东（持股32%），主导双工件台等核心部件研发，国产化率提升60%，获国家大基金二期增持。
• ​​苏大维格​​：国内唯一能量产光刻机定位光栅的企业，精度达2nm，替代德国Heidenhain产品，并研发5nm纳米压印技术。
• ​​福晶科技​​：全球LBO/BBO晶体龙头，进入ASML供应链，为光刻机提供关键光学元件。

​​提示​​：光刻机概念股需关注技术壁垒与政策支持，但投资需结合市场动态与风险评估。