外延设备在半导体领域具有特定含义,需分两种情况说明:
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计算机周边设备
在日常使用中,外延设备指连接到计算机、服务器等设备的周边设备,如鼠标、键盘、显示器等。这些设备主要用于数据输入、输出及交互操作,提升计算机使用便利性。
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半导体薄膜工艺设备
在半导体制造中,外延设备特指用于分子束外延(Epitaxy)等薄膜工艺的高端设备。这类设备用于在基底表面沉积高质量单晶半导体薄膜,是第三代半导体(如SiC)制造的核心设备。例如,中国电科48所已实现SiC外延设备的大规模量产,标志着我国在该领域取得突破。
总结 :外延设备含义需根据语境判断,日常使用中指计算机周边设备;半导体领域则指用于薄膜生长的高端工艺设备。