选择半导体ETF时，应考虑以下几点关键因素：

1. 规模和流动性：规模较大、流动性好的ETF通常更受欢迎，因为它们更容易买卖，且价格更接近净值。例如，华夏国证半导体芯片ETF、国联安中证全指半导体ETF和国泰CES半导体芯片ETF的规模均超过了百亿。

2. 费率：一些ETF的管理费较低，例如易方达的芯片50ETF和汇添富的芯片ETF基金，管理费为0.15%每年。

3. 业绩表现：根据市场表现选择业绩较好的ETF。例如，今年以来，业绩表现较好的是科创芯片ETF，以及芯片产业ETF和中证全指半导体ETF。

4. 投资目标和风险偏好：根据自己的投资目标和风险偏好选择适合的ETF。例如，如果你看好设备材料国产替代，可以选择半导体材料设备指数的ETF。

5. 投资范围：选择投资范围符合你对半导体行业理解和预期的ETF。例如，如果你看好科创板中的芯片半导体股票，可以选择跟踪上证科创板芯片指数的ETF。

6. 成分股质量：选择成分股质量较高、行业代表性强的ETF。例如，国证芯片指数和中华半导体芯片指数的成分股都是各自领域的龙头公司。

以下是几只值得关注的半导体ETF：

1. 华夏国证半导体芯片ETF（159995）：

   • 对标指数：国证芯片指数
   • 成分个股：30个
   • 规模：204亿
   • 特点：前十大权重股比例高，反弹时涨幅较大。

2. 国泰CES半导体芯片行业ETF（512760）：

   • 对标指数：中华半导体指数
   • 成分个股：64个
   • 规模：超过130亿
   • 特点：涵盖范围广，包括材料、设备、设计、制造、封装和测试等环节。

3. 国联安中证全指半导体产品与设备ETF（512480）：

   • 对标指数：中证全指半导体产品与设备指数
   • 成分个股：64个
   • 规模：超过145亿
   • 特点：成立时间久，规模大，流动性好。

4. 科创芯片ETF（588200）：

   • 对标指数：上证科创板芯片指数
   • 成分个股：50个
   • 规模：243.76亿
   • 特点：投资于科创板中的芯片半导体股票，弹性较大。

总结：选择半导体ETF时，应综合考虑规模、流动性、费率、业绩表现、投资目标和风险偏好等因素。以上几只ETF都是不错的选择，你可以根据自己的需求进行选择。投资有风险，投资需谨慎。