半导体制造的八大工艺包括晶圆制造、氧化、光刻、蚀刻、沉积与离子注入、金属化、EDS测试和封装,这些步骤共同构成芯片生产的核心流程。以下是具体分点解析:
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晶圆制造
以高纯度硅为原料,通过熔炼、结晶形成硅锭,再切割抛光成镜面晶圆,为后续工艺提供基础基板。 -
氧化与光刻
氧化工艺在晶圆表面生成绝缘氧化层;光刻则通过掩膜和光刻胶将电路图案转移到晶圆上,精度可达纳米级。 -
蚀刻与沉积
蚀刻去除多余材料形成三维结构;沉积工艺(如CVD、PVD)覆盖导电或绝缘薄膜,构建晶体管层级。 -
金属化与封装
金属化通过镀铜/铝实现电路互联;封装阶段保护晶粒并连接外部引脚,最终形成可用的集成电路芯片。
掌握这些工艺是理解半导体技术的基础,每一步的突破都推动着芯片性能的飞跃。