《光学薄膜技术(第3版)》PDF是一本系统介绍薄膜光学基础理论、器件设计方法和先进制造工艺的专业著作,尤其适合光学工程、材料科学领域的研究者与从业者。 书中详细解析了物理气相沉积(PVD)等核心工艺,并涵盖薄膜特性测试、功能薄膜应用等前沿内容,兼具理论深度与实践价值。
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内容权威性
本书由西安工业大学卢进军教授团队编写,电子工业出版社出版,内容基于多年教学与科研经验,涵盖薄膜光学计算、介质膜系设计、真空镀膜技术等关键章节,并附有习题与案例。第三版新增了离子辅助镀、等离子体增强化学气相沉积等新技术,确保内容与时俱进。 -
实用技术亮点
- PVD工艺详解:对比热蒸发、溅射、离子镀等方法的优缺点,强调高真空环境对膜层质量的影响,如减少杂质、提升膜层强度。
- 膜厚控制技术:分析石英晶体膜厚仪与光电膜厚仪的差异,说明几何厚度与光学厚度的测量逻辑。
- 设计软件辅助:提及TFCalc等工具在多层膜系优化中的应用,帮助读者快速实现抗反射膜、滤光片等器件设计。
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应用场景广泛
从相机镜头减反射膜到太阳能电池功能薄膜,书中案例覆盖光学仪器、电子设备、能源等领域,并探讨超硬薄膜(如类金刚石膜)在工业中的特殊用途。
如需深入学习,建议结合书中提供的材料参数附录与思考题实践,或通过正规渠道获取完整PDF以支持学术研究。