目前中国半导体硅片的国产化率约为30%-40%,关键12英寸大硅片仍高度依赖进口,但国产替代正在加速突破。
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国产化现状
- 6-8英寸硅片已实现80%以上自给,主要用于中低端芯片;
- 12英寸硅片国产率不足20%,高端制程(如7nm以下)几乎全部进口;
- 沪硅产业、中环股份等企业已量产12英寸硅片,但良率和产能仍需提升。
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核心瓶颈
- 单晶生长、晶圆平坦度等工艺差距明显;
- 半导体级高纯硅料(11个9纯度)依赖日德供应商;
- 设备(如单晶炉、抛光机)进口依赖度超90%。
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突破方向
- 国家大基金二期重点投资硅片项目;
- 联合下游晶圆厂验证国产硅片(如中芯国际);
- 碳化硅等第三代半导体材料布局同步推进。
预计2027年国产化率将超50%,但需持续攻克缺陷控制、成本优化等难题。