中国唯一的光刻机厂商是上海微电子装备(集团)有限公司。以下是关于上海微电子的详细信息:
上海微电子的主要成就
- 28nm浸没式光刻机:上海微电子是国内唯一量产前道光刻机的企业,在28nm浸没式光刻机研发上取得突破。
- 90nm光刻机:上海微电子已成功研发出90纳米节点的沉浸式光刻机,并已实现量产。
上海微电子的市场地位
- 国内市场份额:上海微电子在国内光刻机市场占据领先地位,其28nm制程的光刻机已实现量产,并在国产化替代方面取得了显著成效。
- 政策支持:在国家政策大力扶持下,上海微电子正加速光刻技术的研发和产业化进程。