中国唯一7nm光刻机厂商为上海微电子装备有限公司(SMEE),其核心信息如下:
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企业地位
上海微电子是我国唯一掌握7nm光刻机自主研发与生产能力的企业,标志着我国半导体产业在高端设备领域取得重大突破。
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技术突破
2024年11月,SMEE成功申请7nm光刻机专利,涉及关键紫外辐射技术,突破西方专利壁垒,实现技术自主化。
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国际对比
当前全球仅荷兰ASML公司能制造7nm光刻机,而我国通过自主研发填补了这一空白,逐步缩小与国际先进水平的差距。
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关联企业动态
武汉弘芯曾于2020年获得一台7nm光刻机用于芯片制造,但因资金问题被抵押,最终导致项目停摆。但该设备非SMEE所有,属于另一企业。
总结 :上海微电子是我国7nm光刻机的唯一厂商,其专利申请和技术突破是产业自主化的关键里程碑。