掺杂半导体载流子浓度的计算公式需根据载流子类型(电子或空穴)和掺杂类型(n型或p型)分情况讨论,具体如下:
一、基本公式
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电子浓度(n型半导体)
[
n = n_i^2 \cdot \exp\left(\frac{E_f}{kT}\right)
]
其中:
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\( n \) 为电子浓度
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\( n_i \) 为本征载流子浓度(硅约为 \(1.5 \times 10^{10}, \text{cm}^{-3}\))
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\( E_f \) 为费米能级
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\( k \) 为玻尔兹曼常数
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\( T \) 为温度
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空穴浓度(p型半导体)
[
p = \frac{n_i^2}{N}
]
其中:
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\( p \) 为空穴浓度
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\( n_i \) 为本征载流子浓度
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\( N \) 为杂质掺杂浓度(如1%掺杂时 \(N=0.01, \text{cm}^{-3}\))
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二、电中性条件
在掺杂半导体中,需满足电荷守恒:
[
p - n + N_D - N_A = 0
]
其中:
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\( N_D \) 为施主杂质电离产生的正电荷数
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\( N_A \) 为受主杂质电离产生的负电荷数
三、应用示例
以硅中1%砷(As)掺杂为例:
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施主杂质(As)电离产生电子,电子浓度 \( n \approx 5 \times 10^{20}, \text{cm}^{-3} \)
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受主杂质(如硼)电离产生空穴,空穴浓度 \( p \approx 0.45, \text{cm}^{-3} \)(假设 \( n_i^2/N \approx 0.45 \))
四、注意事项
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公式中的 \( n_i^2 \) 适用于理想情况,实际需结合杂质类型和掺杂浓度调整
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高掺杂浓度可能导致电子浓度过高,失去半导体特性