掺杂浓度与电阻率呈反比关系,即半导体中掺入的杂质原子越多(掺杂浓度越高),材料的电阻率越低。这一规律是半导体器件设计的核心原理之一,关键在于杂质电离提供的载流子(电子或空穴)主导了导电性能。
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基本原理
本征半导体的电阻率由热激发产生的电子-空穴对决定,但掺杂后,杂质能级(如磷在硅中提供电子,硼提供空穴)显著增加载流子数量。N型半导体中,每立方厘米增加10¹⁵个施主杂质,电阻率可降低至原值的千分之一。 -
定量关系
电阻率(ρ)与掺杂浓度(N)的关系可近似表示为:其中q为电荷量,μ为载流子迁移率。迁移率受晶格散射和杂质散射影响,高掺杂时μ下降,但N的主导作用仍使ρ整体降低。
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实际应用中的非线性
当掺杂浓度超过10¹⁸ cm⁻³时,杂质电离不完全或形成杂质带,电阻率下降趋势减缓。重掺杂甚至可能引发载流子冻结效应,导致电阻率回升。 -
材料与掺杂类型的影响
N型与P型半导体的电阻率变化规律类似,但空穴迁移率通常低于电子迁移率,故相同浓度下P型材料的ρ略高。化合物半导体(如GaAs)因更高的μ,同等掺杂浓度下ρ低于硅。
总结:通过精确控制掺杂浓度,可定制半导体电阻率以满足不同器件需求,但需平衡载流子浓度与迁移率的制约关系。实际设计中需结合工艺极限与电学性能优化。