半导体掺杂浓度的单位主要有以下三种：

1. 原子浓度（cm⁻³）

   以单位体积内掺杂原子的数量表示，常用范围为10¹⁴~10²⁰ cm⁻³。例如，重掺杂浓度可达10¹⁸ cm⁻³（即每立方厘米10^18个杂质原子）。

2. 质量浓度（ppm、ppb、ppt）

   • ppm（百万分之一） ：1ppm = 1×10⁻⁶，适用于描述极低浓度的杂质或缺陷。 - ppb（十亿分之一） ：1ppb = 1×10⁻⁹，常用于纳米尺度掺杂场景。 - ppt（万亿分之一） ：1ppt = 1×10⁻¹²，用于极少数杂质或特殊工艺需求。

3. 电荷浓度（C）

   以单位体积内掺杂离子的电荷数表示，公式为C = Z×Nₐ/V（Z为离子电荷数，Nₐ为杂质原子数，V为体积）。

选择依据 ：

• 原子浓度适用于宏观掺杂场景；

• ppm、ppb等质量单位多用于纳米级精密工艺；

• 电荷浓度则针对离子掺杂情况。