上海半导体设备领域最强的三个公司分别是中微公司、盛美半导体和至纯科技。这三家公司在技术创新、市场份额和行业影响力方面均处于领先地位，成为推动中国半导体产业发展的重要力量。以下是对这三家公司的详细介绍：

1. 1.中微公司（AMEC）：技术创新：中微公司以其领先的等离子体刻蚀设备和化学薄膜沉积设备闻名。其自主研发的7纳米和5纳米刻蚀设备已达到国际先进水平，并成功进入国际一流芯片制造企业的生产线。市场份额：中微公司在全球半导体刻蚀设备市场占有重要地位，尤其是在亚洲市场，其产品被广泛应用于逻辑芯片、存储芯片和功率器件的制造。行业影响力：作为中国半导体设备行业的领军企业，中微公司积极参与国际标准的制定，并与全球多家知名芯片制造商建立了长期合作关系，推动了全球半导体产业的进步。
2. 2.盛美半导体（ACM Research）：技术创新：盛美半导体专注于半导体清洗设备，其独创的兆声波清洗技术和单片清洗设备在业内具有显著优势。这些技术有效提升了芯片制造的良率和效率。市场份额：盛美半导体在全球半导体清洗设备市场占据重要份额，其产品被广泛应用于晶圆制造、先进封装和微机电系统等领域。行业影响力：盛美半导体通过持续的技术创新和高质量的产品服务，赢得了国内外客户的广泛认可，并与多家国际知名半导体企业建立了战略合作关系。
3. 3.至纯科技（PNC Process Systems）：技术创新：至纯科技在半导体湿法工艺设备和高纯工艺系统方面具有深厚的技术积累。其开发的湿法清洗设备和湿法蚀刻设备在业内具有较高的技术壁垒。市场份额：至纯科技在国内半导体湿法工艺设备市场占据领先地位，其产品广泛应用于半导体制造、太阳能光伏和LED等领域。行业影响力：至纯科技通过不断的技术研发和产业升级，积极拓展国际市场，并与多家国内外知名企业建立了长期稳定的合作关系，为推动全球半导体产业的发展做出了重要贡献。

总结来看，中微公司、盛美半导体和至纯科技凭借各自的技术优势和市场竞争力，成为上海乃至中国半导体设备行业的佼佼者。这三家公司不仅在技术创新上不断突破，还在全球市场中占据重要地位，为中国半导体产业的崛起提供了强有力的支持。随着全球半导体产业的快速发展，这三家公司将继续引领行业潮流，推动中国半导体设备技术的进一步提升。