国内半导体设备厂商主要包括‌北方华创、中微公司、上海微电子、盛美半导体、拓荆科技‌等，这些企业在刻蚀、薄膜沉积、光刻、清洗等关键设备领域取得突破，逐步打破国外垄断。

1. ‌北方华创‌：国内半导体设备龙头，产品覆盖刻蚀机、薄膜沉积设备（PVD/CVD）、清洗设备等，技术对标国际一线厂商。
2. ‌中微公司‌：专注刻蚀设备和MOCVD设备，其5nm刻蚀机已进入台积电供应链，代表国产高端设备的顶尖水平。
3. ‌上海微电子‌：主攻光刻机领域，90nm光刻机已量产，28nm光刻机在研，是国内光刻技术的重要突破点。
4. ‌盛美半导体‌：聚焦清洗设备、电镀设备，其单片清洗设备获国内外晶圆厂认可，技术达国际先进水平。
5. ‌拓荆科技‌：专精薄膜沉积设备（PECVD/ALD），产品应用于OLED、逻辑芯片等产线，填补国内空白。

随着政策扶持与市场需求增长，国产半导体设备厂商正加速技术迭代，未来在成熟制程领域有望实现更高替代率。