半导体工艺流程包括晶圆加工、氧化、光刻、刻蚀、薄膜沉积、互连、测试和封装八大步骤。这些步骤共同确保了半导体产品的精确制造和高质量性能。
晶圆加工
从硅砂中提取高纯度硅,经过熔融、拉晶和切片,制成硅晶圆,为后续工艺提供基础。
氧化
通过热氧化工艺在晶圆表面形成氧化层,以保护电路并隔离不同元件。
光刻
利用光刻技术,通过涂胶、曝光和显影,在晶圆上绘制精细的电路图案。
刻蚀
通过干法或湿法刻蚀去除不需要的硅材料,精确形成电路图形。
薄膜沉积
通过物理或化学方法在晶圆表面沉积导电、绝缘或半导体薄膜,为电路提供功能层。
互连
利用金属线将不同电路连接起来,实现芯片内部的功能协同。
测试
在封装前,对晶圆上的芯片进行功能测试,确保其性能符合设计要求。
封装
将合格的芯片封装在保护壳内,防止外界损害,并连接外部电路。
通过以上流程,半导体制造实现了从原材料到高性能芯片的完整转化,为电子设备的运行提供了核心支持。