中国半导体设备厂主要包括北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科等头部企业，这些厂商在刻蚀、沉积、清洗等关键设备领域已实现技术突破，并逐步打破国际垄断。以下是核心企业及特点分析：

1. 北方华创：国内半导体设备龙头，产品覆盖刻蚀、沉积、清洗等全链条设备，年营收超70亿元，技术对标国际一线厂商。
2. 中微公司：专注高端刻蚀设备，5纳米产线实现批量供货，技术达国际先进水平，年营收增速稳定在30%以上。
3. 盛美上海：以清洗设备为核心，近年拓展沉积领域，在先进封装市场占有率持续提升。
4. 拓荆科技：聚焦薄膜沉积设备，PECVD技术国内领先，适用于逻辑芯片和存储芯片制造。
5. 华海清科：化学机械抛光（CMP）设备主力供应商，填补国内空白，12英寸晶圆产线适配能力突出。

其他重要厂商还包括长川科技（测试设备）、芯源微（涂胶显影设备）、至纯科技（高纯工艺系统）等，共同推动国产半导体设备替代进程。当前行业呈现头部集中化趋势，技术迭代与政策支持加速了国产化率的提升。