中国半导体设备前十排名中，‌北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科、芯源微、至纯科技、万业企业、长川科技、精测电子‌位列行业前列，覆盖刻蚀、薄膜沉积、检测等关键环节。这些企业通过技术突破与国产替代，正逐步打破国际垄断，推动产业链自主可控。

1. ‌北方华创‌
   作为国内半导体设备龙头，产品线涵盖刻蚀机、薄膜沉积设备（PVD/CVD）、清洗机等，14nm设备已实现量产，7nm技术进入验证阶段，客户覆盖中芯国际、长江存储等头部晶圆厂。

2. ‌中微公司‌
   专注高端刻蚀设备与MOCVD设备，其5nm刻蚀机获台积电认证，在全球刻蚀领域市占率逐年提升，技术对标国际巨头泛林半导体。

3. ‌盛美上海‌
   主攻清洗设备与电镀设备，首创SAPS兆声波清洗技术，适配28nm及以下制程，客户包括SK海力士等国际大厂，国产替代率持续提高。

4. ‌拓荆科技‌
   国内薄膜沉积设备核心供应商，PECVD设备打破美国应用材料垄断，广泛用于OLED和逻辑芯片产线，2023年营收增速超50%。

5. ‌华海清科‌
   化学机械抛光（CMP）设备国内市占率超70%，支撑28nm量产并布局14nm，成为中芯国际、华虹等企业关键供应商。

6. ‌芯源微‌
   涂胶显影设备国产化先锋，前道I-line设备进入厦门士兰微产线，后道封装设备市占率领先，填补国内空白。

7. ‌至纯科技‌
   高纯工艺系统与湿法设备供应商，提供半导体级清洗解决方案，14nm以下高阶清洗设备逐步放量。

8. ‌万业企业‌
   通过收购凯世通切入离子注入机领域，低能大束流设备获客户验证，成为国产离子注入稀缺标的。

9. ‌长川科技‌
   测试设备龙头，分选机与测试机覆盖封测全流程，产品性价比优势显著，打入日月光等供应链。

10. ‌精测电子‌
    聚焦半导体检测设备，膜厚量测与电子显微镜技术突破，配合长江存储产线实现批量交付。

当前中国半导体设备企业正加速技术迭代，部分领域已接近国际水平，但光刻机等核心环节仍需突破。未来随着政策扶持与资本投入，国产设备替代空间将进一步释放。